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是
對
待
工
作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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雙腔式PI固化爐的優點
來源:
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作者:雋思環境半導體設備部
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發布時間: 2023-10-26
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雙腔式PI固化爐操作步驟
雙腔式PI固化爐即具有兩個工作室的PI固化爐，可同時運行也可獨立操作。不僅具有單腔固化爐的所有功能，而且還能夠使用不同的生產工藝。
排氣等管道合二為一，節約能源，更加環保；
雙腔式占地面積更小，節約空間；
還可批量生產，提高生產效率；
自動化控制，減少操作人員，降低生產成本；
雙腔式PI固化爐用途
應用于精密電子元件、PI/CPI/PBO/BCB膠高溫固化烘烤、LCP纖維熱處理、硅片退火固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于MEMS制造、集成電路制造、觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、第三代半導體、太陽能、新材料等行業.
雙腔式PI固化爐定制要求
單腔尺寸：W500mm×500mm×H550mm（可指定尺寸）
材質：內箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優質冷軋板噴塑（可指定其他）
溫度范圍：RT+50～300/450℃
潔凈度：Class100(可選)
升溫方式：階梯升溫，可編輯多個升溫時間
降溫方式：水冷、風冷
氧含量：氧含量≤20ppm
操作界面：彩色觸摸式人機界面
操作方式：一鍵運行
真空度：100pa(可選)
