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是
對
待
工
作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱
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快訊：我司精密恒溫加熱臺與國內高科技創新中心合作成功
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2022-04-22
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近日我司精密恒溫加熱臺與國內高科技創新中心合作成功，驗收任務完成。
該中心在柔性電子相關的材料、傳感、芯片、電路及算法等研究領域處于領 先水平。還牽頭成立了浙江省柔性電子制造業創新中心，已形成了柔性電子技術體系化發展的格局。
通過國家重大任務牽引，承擔大量國 家級重大科研項目，攻關國家戰略領域關鍵技術來服務和支撐柔性電子技術行業的發展。
精密恒溫加熱臺，恒溫熱板概述：
用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩定度高，重復性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
精密恒溫加熱臺，恒溫熱板技術性能：
加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸定制
控溫范圍：室溫--200、300/400/500/600℃
溫度分辨率 ：0.1℃
溫度波動度：≤±0.5℃
溫度均勻性：≤±0.5/1℃
電源輸入：AC220V 10A
加熱功率：1500W
熱板表面: 由硬質陽極氧化鋁制成
