就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
-
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
-
熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
-
HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
-
智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
-
真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
-
精密烤膠臺，高精度烘膠機
-
超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
最新消息
熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱
產 品 中 心
products
HMDS烘箱
發布時間: 2022-10-12 12:13
HMDS烘箱原理
HMDS烘箱也稱為HMDS預處理系統，HMDS蒸鍍機等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合，使這樣的襯底表面具有疏水性。
HMDS烘箱技術指標
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤133pa（1torr）
控制儀表：人機界面，一鍵運行
HMDS控制：可設定
HMDS工藝：進入腔體到尾氣排出完全密閉，無任何泄漏
安全檢測：在線檢測，HMDS泄漏警 報提示
儲液瓶：HMDS儲液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
規格尺寸（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
數據記錄：開機、待機、升溫、壓力等數據記錄
功能：脫水烘烤、增粘劑蒸鍍、后烘
用途 ：將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。
