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對
待
工
作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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智能型圖形反轉系統 圖像翻轉設備
發布時間: 2025-07-12 10:19
智能型圖形反轉系統 圖像翻轉設備用途：
光刻圖形反轉是一種特殊的工藝，用于制作?半導體器件。在曝光結束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區域在顯影后會形成孔洞而不是島區。這種工藝主要用于制作孔洞結構，通過改變曝光區域和非曝光區域的相對分解率來實現。
智能型圖形反轉系統適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
智能型圖形反轉系統 圖像翻轉設備特點：
NH3監測,報警提示功能
工藝數據記錄功能
程序鎖定保護等功能
智能型圖形反轉系統 圖像翻轉設備技術性能：
1.尺寸（深*寬*高）
內腔尺寸：300×300×300
450×450×450（mm）（可定制）
2. 材質：外箱采用優質冷軋板噴塑，內箱采用 316L 醫用級不銹鋼
3.溫度范圍：RT+50-200℃
4.溫度分辨率：0.1℃
5.溫度波動度：≤±0.5
6 真空度：≤133pa（1torr）
7.電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ，總功率約2.8KW
8.控制儀表：人機界面，一鍵運行
9.擱板層數：2 層
10.工藝氣體：2/3路
11.真空泵：無油渦旋真空泵
