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硅片清洗設備,全自動硅片清洗機
    發布時間: 2021-09-26 13:42    
硅片清洗設備,全自動硅片清洗機的重要性:
      半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質,包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態或離子狀態,有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴重影響少數載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等,引起嚴重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等,會導致各種缺陷。
硅片清洗設備,全自動硅片清洗機的應用:
      集成電路,MEMS器件,微波器件,先進封裝等工藝。
去膠清洗設備,顯影清洗設備,酸堿刻蝕機。也可用于零部件清洗,石英管道清洗,外延片清洗(砷化鎵,氮化鎵,碳化硅,鈮酸鋰等
硅片清洗設備,全自動硅片清洗機的特點:
       全自動硅片清洗設備電氣控制是以PLC、觸摸屏為核心實現硅片清洗的自動化。介紹了該設備在PLC控制方面的技術改進,包括對機械臂的運動控制方式、工藝適應性以及安全性能更好。晶硅料的酸腐蝕、清洗處理。用戶操作人員手動上料后,手動酸腐蝕后,全過程自動化控制,減少人工干預。設備具有自動化程度高,運行成本低,生產效率高,性能穩定,安全可靠等特點。

    
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